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    kewill超微量氣體流量計

    kewill超微量氣體流量計

    簡要描述:kewill超微量氣體流量計:操作 使用方便,可任意位置安裝,廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制 氣配氣等行業 。

    產品型號: FGM220

    產品品牌:科威勒

    更新時間:2025-03-04

    廠商性質:生產廠家

    詳情介紹

    kewill超微量氣體流量計

    原理&結構

    FGM220 質量流量控制器(Mass Flow Controller)是一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的氣體質量流量控 制器產品。該產品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質、高精度微機電流量芯片等,具有精度高、 響應速度快、穩 定性好等特點。 操作 使用方便,可任意位置安裝,廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制 氣配氣等行業 。

    kewill超微量氣體流量計

    特點

    分析和環保 半導體加工 燃燒控制器 真空技術 表面處理 食品和制藥 化工(石化)等過程控制

    應用

    溫度和壓力不敏感 *的零點穩定性 超快的響應速度 良好的重復性和再現性 多種信號輸出方式 配備高*比例電磁閥

    技術參數

    核心參數說明


    介質要求:

    潔凈干燥無腐蝕性氣體

    介質種類:

    空氣、氮氣、氬氣、二氧化碳


    氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等

    量程:

    0...50/100/500/1000 SCCM(每分鐘標準毫升)


    0...5/20 SLM(每分鐘標準升)

    精度:

    1.0% F.S


    1.5% F.S.

    分辨率:

    *低 0.01SCCM(每分鐘標準毫升)

    響應時間:

    ≤1S



    環境條件


    介質溫度:

    0...50

    工作溫度:

    -20...70

    工作濕度:

    10%...90%RH(無結冰,無凝露)

    工作壓力:

    0...10bar

    儲存溫度:

    -20...85



    電氣參數


    供電電壓:

    DC24V

    功耗:

    2.4W

    啟動時間:

    <1S

    預熱時間:

    <10mS


    信號類型


    模擬信號(電流、電壓)


    接口類型:

    D-SUB 9

    電壓信號:

    0...5V & 1...5V

    電流信號:

    4...20mA



    數字信號(RS485


    接口類型:

    RJ45D-SUB 9

    通信速率:

    4800,9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,


    115200,28000,230400,256000,460800,500000 (可


    通過指令或者上位機修改)

    協議:

    RS485(默認 Modbus-RTU協議)

    設備地址:

    1(默認)-250(可通過指令或者上位機修改)

    *大節點數:

    250



    機械參數


    接頭類型:

    卡套:8mm12mm


    快插:6mm8mm


    協議定制

    主體材質:

    接液底座:陽極氧化鋁合金


    不銹鋼1.4301(不銹鋼304)


    不銹鋼1.4435(不銹鋼316L)


    外殼:碳鋼

    密封材質:

    FKM 氟橡膠

    重量:

    :≈0.75kg


    不銹鋼:≈1.5kg


    尺寸圖

    637666215906536180841.png


    選型表

    637666215910592024165.png


    訂貨提示

    1.訂貨時請注明介質流向,介質種類,管徑及期望測量區間值。我們可在出廠時幫您完成精確校驗。2.若是黏性介質,請注明黏度,溫度及介質種類。

    3.若是氣體介質,請注明壓力(表壓/絕壓),溫度及介質種類。






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